ルーツ真空ポンプ Veat-003 1200 M³/H & 到達真空度0.05pa 真空エンジニアリングアプリケーションテストソリューション

ルーツ真空ポンプ Veat-003 1200 M³/H & 到達真空度0.05pa 真空エンジニアリングアプリケーションテストソリューション

製品紹介

• VEAT-003は、デュアルローター同期逆回転技術を採用し、可変周波数駆動と最適化されたローター形状設計を組み合わせることで、真空吸引効率を大幅に向上させ、吸引時間を20%短縮します。インテリジェントインターフェースはリアルタイム状態監視（Condition Monitoring）をサポートし、垂直/水平設置に対応しています。また、電子ビーム溶接、真空炉、凍結乾燥、半導体ウェハ処理など、低真空から高真空（大気圧～10⁻³ hPa）まで、幅広い用途に適しています。

製品の特徴

• 高効率・省エネ：IE4高効率モーターと軽量ローター設計により、エネルギー消費量は50％削減され、発熱量は30％削減されます。
• インテリジェント制御: インバーターと IoT インターフェイスを統合し、リモート監視と適応型動作条件調整をサポートし、システムの可用性を向上します。
• メンテナンスコストが低い：オイルフリー設計 + ダイナミックシールの最適化、メンテナンスサイクルは最大 4 年、漏れ率は最低 1×10⁻⁶ Pa·m³/s。
• 高い信頼性: 鋳鉄製ローターと精密伝動システム、耐腐食性材料はオプションで、過酷な産業環境に適しています。
• 静かで環境に優しい：騒音は 63 dB(A) 以下で、ISO 騒音基準に準拠しており、医療や研究室のシナリオに適しています。

国際標準規格

• ISO 21360: 真空ポンプの性能試験仕様。
• SEMI S2/S8: 半導体装置の安全性および環境規格。
• DIN ISO 9001: 品質管理システム認証。
• ANSI/UL 1203: 防爆および電気安全規格。
• IEC 60034-30: モーターのエネルギー効率レベル (IE4)。

製品の用途

• 半導体製造：ウェーハコーティング、真空溶接、プラズマ洗浄。
• 医療機器：凍結乾燥、無菌包装、真空滅菌。
• 環境保護工学：廃ガス処理、真空蒸留、廃水脱ガス。
• 食品業界：真空包装、材料輸送、脱酸素および保存。
• 科学研究実験：高真空シミュレーション、風洞試験、材料分析。

テスト対象とテスト項目

テスト対象:

• 半導体ウェハ、電子部品、真空炉チャンバー
• 医療用包装材料、食品加工容器、環境に優しい反応器

テスト項目:

• 真空安定性（0.05 Pa以下）
• リークレート検証（≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s）
• 耐圧性（最大10⁴Paの圧力差）
• エネルギー効率（IE4規格検証）
• 騒音と振動（ISO 3744に準拠）

技術的パラメータ