インテリジェントCNC真空ユニット 30l/S 排気速度 5×10⁻¹Pa 到達真空度

インテリジェントCNC真空ユニット 30l/S 排気速度 5×10⁻¹Pa 到達真空度

製品紹介

VET-001は、デュアルポンプの組み合わせ技術とインテリジェントな制御システムを使用して、効率的で安定した真空性能の出力を実現します。

▎高効率真空ポンプシステム

デュアルポンプリンケージ設計：ルーツポンプ（30L/S レート）とロータリーベーンポンプ（8L/S レート）が直列に動作し、最大真空度は 5×10⁻¹Pa です。これは、シングルポンプシステムよりも 40% 効率が高く、≤10⁻¹Pa の真空要件が求められる厳しいシナリオ（電子ビーム溶接や真空熱処理など）を満たします。

省エネモード: 真空負荷をインテリジェントに判断し、低真空段階ではロータリーベーンポンプのみが稼働し、高真空段階ではルーツポンプが自動的に起動するため、従来のユニットと比較してエネルギー消費を 35% 削減します。

▎インテリジェントCNCシステム

ヒューマンコンピュータインタラクション: 7 インチ Weilun/Omron タッチスクリーン (中国語と英語の切り替え可能) は、真空、ポンピング速度、油温などの 12 個のパラメータをリアルタイムで表示し、履歴データ曲線のトレースをサポートします (保存期間 ≥ 30 日)。

自動制御：ワークピース接続センサーを搭載しており、システムは負荷を検出してから 0.5 秒以内に自動的に起動し、テストが完了すると自動的に圧力を解放して停止します。カスタム プログラムのプリセット (セグメント化された真空引きや圧力保持時間の設定など) をサポートします。

▎複数の安全保護

電気保護：欠相検出（応答時間 < 0.1秒以下）、モーター過負荷保護（定格電流の1.2倍で自動停止）、真空ポンプ油温過熱警告（>70℃アラーム）。

機械的保護: ルーツ ポンプには逆流防止オイル バルブが組み込まれており、シャットダウン時にシステムを自動的に分離して、オイル蒸気による真空チャンバーの汚染を防止します。完全に密閉されたステンレス フレーム (IP54 保護レベル) は防塵および防滴仕様です。

▎柔軟な拡張機能

通信インターフェース: RS485/Modbus TCP インターフェースは、PLC と SCADA システムのドッキングをサポートし、リモート監視 (リアルタイムの真空警告やリモート障害診断など) を実現するために予約されています。

パイプライン構成: 2 つの DN16 真空パイプラインが標準 (4 つまで拡張可能) であり、KF/QF フランジ インターフェイスに適しており、さまざまな仕様の真空チャンバーのクイック接続と互換性があります。

製品の特徴

• ルーツポンプ+ロータリーベーンポンプの組み合わせ、排気速度30L/S、到達真空度5×10⁻¹Pa、高真空と高排気速度の二重要件に適しています
• タッチスクリーン+PLC全自動制御、10セットのカスタムプログラム保存をサポート、パラメータ設定効率が60％向上
• 位相損失/過負荷/油温に対する三重の電気保護、油戻り防止機械設計により、7×24時間の連続運転の安全性を確保します。
• Modbusプロトコルに対応しており、工場のMESシステムに接続して真空装置のクラスタ管理とデータトレーサビリティを実現できます。
• 2方向拡張可能真空パイプライン、DN16-DN50フランジインターフェースをサポート、半導体、実験室、その他のマルチシナリオ機器と互換性あり

国際標準規格

• ISO 3668:2017「真空ポンプの性能測定方法」（第5項 排気速度、第6項 到達圧力）。
• GB/T 16530-2020「ルーツ真空ポンプ」（セクション5.1騒音制限、セクション5.2振動振幅）。
• IEC 60204-1:2018「機械の電気的安全性 - 電気機器」（第 8 項 制御回路、第 12 項 過負荷保護）。
• ATEX 2014/34/EU「防爆指令」（可燃性および爆発性環境向けのカスタマイズモデルに適用）

技術的パラメータ

試験対象と検査項目

テスト対象:

• 真空コーティング装置（マグネトロンスパッタリングチャンバーなど）、半導体ウェーハ製造装置（フォトレジストコーティング真空チャンバー）、実験室用真空乾燥炉・蒸留装置、真空包装機、真空冷凍装置。

検査項目：

• 真空性能: 排気速度 (30m³/h@標準大気圧)、到達真空度 (5×10⁻¹Pa)、圧力上昇率 (≤5Pa/min)。
• システム互換性: マルチパイプライン同期真空効率、フランジインターフェース漏れ率 (ヘリウム質量分析検出≤1×10⁻⁹Pa・m³/s)。
• 長期安定性：8時間連続運転後の真空度変動（≦±5%）、ルーツポンプの温度上昇（≦20℃）。
• 省エネ：無負荷時消費電力（≤1.5kW）、負荷時消費電力曲線（真空度と電力の関係）。
• 安全性能：電気絶縁抵抗（≥10MΩ）、接地導通（≤0.1Ω）、緊急シャットダウン応答時間（≤2秒）。