I. 動作原理

ヘリウム漏れ検知装置は、ヘリウムガスの独特の特性を利用して検査を行います。ヘリウムは、低密度、小さな分子、容易な拡散、安定した化学的特性を誇るため、漏れ検出に理想的なガスです。ヘリウムがテスト対象のワークピース内またはその周囲に注入される場合、漏れがある場合、ヘリウムは漏れ箇所からすぐに逃げて、周囲の空気または真空環境に入ります。このとき、ヘリウム質量分析計リークディテクターで環境中のヘリウム濃度を検出することで、ワークにリークがあるかどうかを判断し、リークがある場合にはリークの深刻度を自動的に評価します。

II.操作手順

真空チャンバーのヘリウム漏れ検出システムを例にとると、その操作手順には次の側面が含まれます。

1. ワークスキャン

専用のバーコードスキャナーを使用して、ワーク上のバーコードまたはQRコードを正確に読み取ります。

スキャンが成功すると、コンピューター インターフェイスにスキャンされたバーコード データがすぐに表示され、情報の正確性と追跡可能性が保証されます。

2. ワークの設置と検出の開始

ワークを試験室内の専用治具に置き、揺れることなく安定させます。

真空チャンバーを閉じ、事前に設定された検出サイクル プログラムを開始して、検出プロセスが確立されたシーケンスに従っていることを確認します。

3. チャンバーの検出

真空チャンバー内で真空排気を行い、重大なリークの有無を検出します。

重大な漏れが検出されない場合は、次のステップに進みます。それ以外の場合、システムは自動的にアラームを発行し、検出を終了します。

4. ワークの退避

ワークを設定真空度に達するまで真空引きします。

このステップは、ワークピースから空気やその他の不純物を除去し、その後の検出に備えることを目的としています。

5. ワークピース内の重大な漏れの検出

ヘリウムをワークピースの内部に注入し、センサーの読み取り値の変化を継続的に観察します。

センサー読み取り値の低下が事前に設定された制限を超えない場合は、ワークピースに大きな漏れがないことを示しており、検出を続行できます。それ以外の場合、システムはアラームを発行して検出を終了します。

6. 真空チャンバーのバックグラウンド信号の抑制

検出中に精度を確保するには、真空チャンバー内のバックグラウンド信号を検出する必要があります。

バックグラウンド信号が高すぎる場合、システムは検出結果への影響を排除するために抑制を実行します。

7. ワークピースへのヘリウムの充填とマイクロリークの検出

微小リークを検出するには、ワークピースの内部をあらかじめ設定された圧力レベルまでヘリウムで満たします。

ヘリウム質量分析計のリーク検出器を使用して、ワークピース内のヘリウム信号を検出します。

リーク検出器によって検出されたヘリウム信号が事前に設定された制限を超える場合、マイクロリークの存在を示し、マイクロリークインジケータライトが点灯します。そうでない場合は、認定済みのインジケータライトが点灯し、システムが自動的にワークピースにマークを付けます。

8. ヘリウムのリサイクルと結論

検出後は、真空チャンバー内のヘリウムをリサイクルして、資源を効率的に利用します。

リサイクルが完了したら、真空チャンバー内の空気をあらかじめ設定された真空レベルまで排気します。

真空チャンバーを開いてワークピースを慎重にアンロードし、ワークピース検出プロセス全体が終了します。

Ⅲ．設備構成

ヘリウム漏れ検出装置は通常、次のコンポーネントで構成されます。

1.真空システム: 真空チャンバーから空気を排出し、真空環境を作り出すために使用されます。

2.ガス充填システム: ワークにヘリウムを注入するために使用されます。

3.リーク検出機器: ヘリウム質量分析計リーク検出器など、環境内のヘリウム濃度を検出するために使用されます。

4.制御システム: 真空レベル、ガス充填量、検出時間などのパラメータの設定と調整を含む、検出プロセス全体を制御するために使用されます。

5.表示および記録モジュール: 検出結果の表示と検出データの記録に使用されます。

IV.予防

ヘリウム漏れ検出装置を使用する場合は、不適切な操作による安全上の問題や検出エラーを避けるために、操作手順に厳密に従う必要があります。

ヘリウムは比較的高価な希ガスであるため、使用に際しては保存やリサイクルに注意する必要があります。当社のヘリウム漏れ検知システムはヘリウム回収精製装置を搭載しており、ヘリウムのリサイクルが可能です。