ガス濃度（含む ガス漏れ検知) 検出技術には幅広いアプリケーションがあります。 真空チャンバー式ガス漏れ検知 技術は、製品の気密性を検出する一般的な技術です。 微量ガス濃度.

真空チャンバー方式のガス漏れ検知技術では、トレーサーガスとしてハロゲンガス、水素、ヘリウムを使用するのが一般的です。には、検出チャンバー、真空ポンプ バルブ、真空ポンプ、ガス センサー バルブ、ガス センサー、トレーサー ガス バルブ、およびトレーサー ガス ソースが含まれます。検出中は、まず真空排気バルブを開き、真空ポンプを使用して検出チャンバーを高真空に排気してから、トレーサーガスバルブとトレーサーガスソースを開き、トレーサーガスを検査対象のワークピースに充填し、最後にガスセンサーバルブを使用し、ガスセンサーを使用して、検査するワークの外側のトレーサーガスの濃度を検出します。検出されたトレーサガス信号がガスセンサの設定値を超える場合、表面の検査対象ワークに漏れがあります。

真空チャンバー式ガス検知技術の特徴は、ワークを検知チャンバーに入れることです。ワークに漏れ検出用のトレーサガスを充填する前に、まず真空排気バルブを開き、検出チャンバーを真空ポンプで高真空に排気します。真空度の要件は非常に高く、そうでないと検出精度に簡単に影響します。高真空のため、トレーサガスの拡散速度が速く、ガスセンサは、補助吸気なしで真空環境におけるトレーサガスの拡散運動により、トレーサガスの濃度を迅速に検出することができます。真空チャンバー式ガス漏れ検知システムは検知精度が高く、生産リズムが速く、人手を介さない全自動検知を実現できます。しかし、装置の構造は非常に複雑で厳密であり、装置の製造コストは高くなります。高真空が必要なため、真空システムの設計は複雑であり、製造コストも高く、真空チャンバー型リーク検出技術の普及と使用は、設備投資の高コストによって制限されています。同時に、この技術では、検査対象ワークのリークポイントを特定することはできません。